Lắp đặt hệ thống xử lý khí
Không được sử dụng ngọn lửa oxy-axetylen để cắt ống và nên sử dụng máy cắt ống cơ học (đường kính bằng hoặc nhỏ hơn 10 mm) hoặc cưa điện bằng thép không gỉ (đường kính lớn hơn 10 mm) hoặc phương pháp plasma để cắt.Bề mặt của vết mổ phải nhẵn và sạch, độ lệch của mặt cuối không được lớn hơn 0,05 so với đường kính ngoài của ống và không được vượt quá 1mm.Nên sử dụng argon nguyên chất (độ tinh khiết 99,999%) để thổi bay các mảnh vụn, bụi bẩn bên trong ống và loại bỏ vết dầu.
Việc xây dựng các đường ống dẫn khí có độ tinh khiết cao và độ sạch cao khác với các đường ống dẫn khí công nghiệp thông thường.Một sơ suất nhỏ sẽ gây ô nhiễm gas và ảnh hưởng đến chất lượng sản phẩm.Vì vậy, việc xây dựng đường ống phải được thực hiện bởi một đội ngũ chuyên nghiệp, tuân thủ nghiêm ngặt các thông số kỹ thuật thiết kế và xây dựng, đồng thời xử lý từng chi tiết một cách nghiêm túc và có trách nhiệm để tạo nên một dự án đường ống đủ tiêu chuẩn.
Nếu các tạp chất trong hệ thống được phân bố đều thì nồng độ khí thải từ hệ thống được coi là nồng độ tạp chất của hệ thống.Tuy nhiên, tình hình thực tế là khí nền thanh lọc sạch đi đến đâu thì các tạp chất trong hệ thống sẽ được phân phối lại do nhiễu loạn do nhiễu loạn gây ra.Đồng thời, có một số lượng lớn “vùng trì trệ” trong hệ thống.Khí trong “vùng ứ đọng” không dễ bị xáo trộn bởi khí thanh lọc.Các tạp chất này chỉ có thể khuếch tán chậm do chênh lệch nồng độ, sau đó bị cuốn ra khỏi hệ thống nên thời gian thanh lọc sẽ lâu hơn.Phương pháp thanh lọc liên tục rất hiệu quả đối với oxy, nitơ và các loại khí khác không ngưng tụ trong hệ thống, nhưng đối với độ ẩm hoặc một số loại khí nhất định, chẳng hạn như hydro thoát ra từ vật liệu đồng, hiệu quả của nó khá kém nên thời gian thanh lọc lâu hơn.Thông thường, thời gian thanh lọc của ống đồng gấp 8-20 lần so với ống thép không gỉ.