Nội Dung Phòng Sạch (Nhà Máy) Và Các Cơ Sở Liên Quan

Việc xây dựng và sử dụng cácphòng sạchnên làm giảm việc đưa vào trong nhà, sự xuất hiện và lưu giữ các hạt, nghĩa là không có hoặc ít đưa các hạt vào, không có hoặc có ít các hạt xuất hiện, không có hoặc ít giữ lại các hạt, v.v.

Theo yêu cầu sản xuất sản phẩm, các thông sốgiốngnhiệt độ, độ ẩmy và áp lực  nên được kiểm soát.Theo yêu cầu sản xuất sản phẩm, việc phân phối không khí, tốc độ không khí, tiếng ồn, độ rung, tĩnh điện, v.v. trong phòng sạch cũng cần được kiểm soát.Do đó, phòng sạch (nhà máy) và các cơ sở liên quan có thể được chia đại khái thành 8 loại:

(1) Thiết bị lọc không khí (thiết bị làm lạnh,điều hòa không khí, lọc,vòi sen không khí, dọn bàn);

(2) Hệ thống phòng sạch (đất/sàn, trần/FFU, vách kim loại, cửa,kỳ chuyển nhượng/cửa sổ quan sát, đèn);

(3) Hệ thống cung cấp môi trường xử lý (bao gồm cả thiết bị) (nước tinh khiết, khí tinh khiết, khí đặc biệt, hóa chất);

(4) Kiểm soát vi rung và bảo vệ tĩnh điện;

(5) Hệ thống quần áo sạch, vật tư phòng sạch (bàn, ghế, tủ, giá đỡ, máy hút bụi), vật tư tiêu hao phòng sạch;

(6) Dụng cụ kiểm tra;

(7) Công trình bảo vệ môi trường (hệ thống xử lý khí thải, hệ thống xử lý nước thải);

(số 8)Dthiết bị chuyên dụng (thiết bị cách ly sinh học, môi trường vi mô)

Yêu cầu kiểm soát môi trường sản xuất trong sản xuất sản phẩm điện tử không chỉ có yêu cầu nghiêm ngặt về độ sạch của không khí trong phòng mà còn có yêu cầu nghiêm ngặt về hàm lượng tạp chất trong sạch của tất cả các loại môi trường có độ tinh khiết cao khi tiếp xúc trực tiếp với quy trình sản xuất các sản phẩm điện tử - nước có độ tinh khiết cao, khí có độ tinh khiết cao, hóa chất có độ tinh khiết cao, v.v. Một số sản phẩm điện tử cũng có yêu cầu nghiêm ngặt hơn về độ rung, tĩnh điện, nhiễu điện từ, nguồn điện, v.v.