Mức độ sạch không khí (N) | Giới hạn nồng độ tối đa của các hạt lớn hơn hoặc bằng kích thước hạt được đánh dấu (số lượng hạt không khí/m3) | |||||
0,1um | 0,2um | 0,3um | 0,5um | 1,0um | 5,0um | |
ISO loại 1 | 10 | 2 | ||||
ISO loại 2 | 100 | 24 | 10 | 4 | ||
ISO lớp 3 | 1.000 | 237 | 102 | 35 | 8 | |
ISO lớp 4 | 10.000 | 2.370 | 1.020 | 352 | 83 | |
ISO lớp5 | 100.000 | 23.700 | 10.200 | 3.520 | 832 | 29 |
ISO lớp 6 | 1.000.000 | 237.000 | 102.000 | 35.200 | 8.320 | 293 |
ISO lớp 7 | 352.000 | 83.200 | 2.930 | |||
ISO lớp8 | 3.520.000 | 832.000 | 29.300 | |||
ISO lớp 9 | 35.200.000 | 8.320.000 | 293.000 |
chiếc/M ≥0,5um | ISO 14644-1(1999) | US 209E(1992) | US 209D(1988) | EEC cGMP(1989) | PHÁP AFNOR(1981) | NƯỚC ĐỨC VDI 2083(1990) | NHẬT BẢN JAOA(1989) |
1 | - | - | - | - | - | - | - |
3,5 | 2 | - | - | - | - | 0 | 2 |
10,0 | - | M1 | - | - | - | - | - |
35,3 | 3 | M1.5 | 1 | - | - | 1 | 3 |
100 | - | M2 | - | - | - | - | - |
353 | 4 | M2.5 | 10 | - | - | 2 | 4 |
1.000 | - | M3 | - | - | - | - | - |
3.530 | 5 | M3.5 | 100 | A+B | 4.000 | 3 | 5 |
10.000 | - | M4 | - | - | - | - | - |
35.300 | 6 | M4.5 | 1.000 | 1.000 | - | 4 | 6 |
100.000 | - | M5 | - | - | - | - | - |
353.000 | 7 | M5.5 | 10.000 | C | 400.000 | 5 | 7 |
1.000.000 | - | M6 | - | - | - | - | - |
3.530.000 | 8 | M6.5 | 100.000 | D | 4.000.000 | 6 | 8 |
10.000.000 | - | M7 | - | - | - | - | - |